[
1ОВ Распространение, растворение и осаждение нремнезема 107
Скорость растворения кварцевого стекла колбы была из- как расходовалась твердая фаза, но оставались постоянными мерена Сасаки [228]. Она оказалась пропорциональной концен- в присутствии катехина. Кварцевое стекло растворялось гораздо трации основания. Цинк и алюминий заметно умен шачи скоь.
быстрее, чем кварц, однако стишовит был совершенно нераство им [231б .
рость растворения. Полное прекращение растворения в 0,1 н.
растворе NaOH наблюдалось при концентрациях 3,4 10 — ' н. алю- Понижение скорости растворения в щелочи могло быть обусминия и 5. 10 — ' н. цинка. ловлено накоплением следов алюминия в растворе, по мере того
как растворялся кремнезем. Образующиеся алюмосиликат-ионы при повторной адсорбции на поверхности кремнезема должны уменьшать скорость растворения. Однако катехин может обра)
ливал действие щелочи при концентрации 10 мг бериллия на
зовать комплекс, связывающии и кремнии, и алюминии. В таком случае скорость растворения останется постоянной. (См. также же концентрации по ингибирующему действию оказались катехин и цинк. Удивительно, что алюминий в сильной щелочи оказался лишь ненамного лучше, чем барий, свинец и другие тя- Скорость растворения в водном растворе HF желые металлы, которые не очень эффективны вследствие их Бергман [232] провел обширные измерения скорости растворения кварца и тридимита в 0,1 и 1,0 М растворах HF npu
Мембраны из пористого стекла, применяемые для очень тон- температуре 25'С. При использовании частиц микронного разои фи трации, стабилизировались для предотвращения их рас- мера им были получены достаточно воспроизводимые значения творения добавлением в питательный раствор 0,3 г/л А1С1) 6Н~О скоростей растворения, выражаемых в мг/(м~ ч). Тридимит рас[229б]. творялся в 0,1 М HF примерно в 7 раз быстрее, чем кварц,
а кварцевое стекло — примерно в 45 раз быстрее, но в 1,0 М
Скорость растворения в присутствии катехина растворе HF различие было небольшим.
В расчете на единицу поверхности в 0,1М растворе кристобалит и тридимит растворялись примерно в 10 раз быстрее, ляет со ой сильный инги ито, замедляющий процесс растворе-
днако в нейтральном или в слабощелочном
а кварцевое стекло — в 100 раз быстрее, чем кварц [233], растворе катехич ведет себя только как р
Был проведен ряд исследований по скорости травления кремнезема плавиковой кислотой, выполненных в связи с процессами, применяемыми в электронной промышленности. Запатенже отмечалось выше, что сильный аммиачный раствор катехина растворял кварцевое стекло со скоро 0,5
тованная смесь HF и NH4F дает желаемую скорость травления техина астворял кварцевое стекло со скоростью 0,5 мкм/ч при
2 4.
для получения тонких пленок [ 3 ].
Было высказано мнение [235], что скорость воздействия HF
мг м ч для кварца.
на пленки SiO) обусловлена как ионом HF', так и молекулой
Бах и Стичер [230] провели измерения на очищенных пла- HF, причем первый из них оказывает в 4 — 5 раз более эффеквиковой кислотой кварцевых поверхностях, используя 0,2 М рас- тивное действие, чем вторая. Плискин и Леман [236] применяли твор катехина при рН 9,6. Скорость воздействия в интервале раствор, содержащий 2,26% HF и 2,15% НЫОе, для травления температур 17 — 40'С была вычислена по уравнению пленок SIO на кремнии. Такая пленка, полученная окислением
при 1000'С, вероятно, является непористой и протравливается со скоростью 2 А/с, что соответствует 1600 мг/(м~ ч). ИспольПри 25'С эта скорость составила 0,8 10 —" г/(см'с) или соот- зуя шарики из кварцевого стекла, Леко и Комарова [237] измеветственно 2,9 10 — ' мг/(м' ч). Экстраполированное значение рили скорости растворения в растворах HF вплоть до 20%-ной скорости при 95'С равнялось 3,6 мг/(м'ч), концентрации в интервале температур 20 — 80'С. По этим данБауман [231а] привел обширные данные по скоростям рас- ным можно подсчитать условия для удаления слоев кремнезема творения различных форм кремнезема в разбавленной щелочи, определенной толщины.
а также в присутствии катехина. Было отмечено, что в разбав- Результаты фундаментального изучения воздействия HF на ленной щелочи скорости растворения снижались по мере того,. кварцевое стекло опубликовали авторы работы [238], сопрово-
1ОВ Распространение, растворение и осаждение нремнезема 107
Скорость растворения кварцевого стекла колбы была из- как расходовалась твердая фаза, но оставались постоянными мерена Сасаки [228]. Она оказалась пропорциональной концен- в присутствии катехина. Кварцевое стекло растворялось гораздо трации основания. Цинк и алюминий заметно умен шачи скоь.
быстрее, чем кварц, однако стишовит был совершенно нераство им [231б .
рость растворения. Полное прекращение растворения в 0,1 н.
растворе NaOH наблюдалось при концентрациях 3,4 10 — ' н. алю- Понижение скорости растворения в щелочи могло быть обусминия и 5. 10 — ' н. цинка. ловлено накоплением следов алюминия в растворе, по мере того
как растворялся кремнезем. Образующиеся алюмосиликат-ионы при повторной адсорбции на поверхности кремнезема должны уменьшать скорость растворения. Однако катехин может обра)
ливал действие щелочи при концентрации 10 мг бериллия на
зовать комплекс, связывающии и кремнии, и алюминии. В таком случае скорость растворения останется постоянной. (См. также же концентрации по ингибирующему действию оказались катехин и цинк. Удивительно, что алюминий в сильной щелочи оказался лишь ненамного лучше, чем барий, свинец и другие тя- Скорость растворения в водном растворе HF желые металлы, которые не очень эффективны вследствие их Бергман [232] провел обширные измерения скорости растворения кварца и тридимита в 0,1 и 1,0 М растворах HF npu
Мембраны из пористого стекла, применяемые для очень тон- температуре 25'С. При использовании частиц микронного разои фи трации, стабилизировались для предотвращения их рас- мера им были получены достаточно воспроизводимые значения творения добавлением в питательный раствор 0,3 г/л А1С1) 6Н~О скоростей растворения, выражаемых в мг/(м~ ч). Тридимит рас[229б]. творялся в 0,1 М HF примерно в 7 раз быстрее, чем кварц,
а кварцевое стекло — примерно в 45 раз быстрее, но в 1,0 М
Скорость растворения в присутствии катехина растворе HF различие было небольшим.
В расчете на единицу поверхности в 0,1М растворе кристобалит и тридимит растворялись примерно в 10 раз быстрее, ляет со ой сильный инги ито, замедляющий процесс растворе-
днако в нейтральном или в слабощелочном
а кварцевое стекло — в 100 раз быстрее, чем кварц [233], растворе катехич ведет себя только как р
Был проведен ряд исследований по скорости травления кремнезема плавиковой кислотой, выполненных в связи с процессами, применяемыми в электронной промышленности. Запатенже отмечалось выше, что сильный аммиачный раствор катехина растворял кварцевое стекло со скоро 0,5
тованная смесь HF и NH4F дает желаемую скорость травления техина астворял кварцевое стекло со скоростью 0,5 мкм/ч при
2 4.
для получения тонких пленок [ 3 ].
Было высказано мнение [235], что скорость воздействия HF
мг м ч для кварца.
на пленки SiO) обусловлена как ионом HF', так и молекулой
Бах и Стичер [230] провели измерения на очищенных пла- HF, причем первый из них оказывает в 4 — 5 раз более эффеквиковой кислотой кварцевых поверхностях, используя 0,2 М рас- тивное действие, чем вторая. Плискин и Леман [236] применяли твор катехина при рН 9,6. Скорость воздействия в интервале раствор, содержащий 2,26% HF и 2,15% НЫОе, для травления температур 17 — 40'С была вычислена по уравнению пленок SIO на кремнии. Такая пленка, полученная окислением
при 1000'С, вероятно, является непористой и протравливается со скоростью 2 А/с, что соответствует 1600 мг/(м~ ч). ИспольПри 25'С эта скорость составила 0,8 10 —" г/(см'с) или соот- зуя шарики из кварцевого стекла, Леко и Комарова [237] измеветственно 2,9 10 — ' мг/(м' ч). Экстраполированное значение рили скорости растворения в растворах HF вплоть до 20%-ной скорости при 95'С равнялось 3,6 мг/(м'ч), концентрации в интервале температур 20 — 80'С. По этим данБауман [231а] привел обширные данные по скоростям рас- ным можно подсчитать условия для удаления слоев кремнезема творения различных форм кремнезема в разбавленной щелочи, определенной толщины.
а также в присутствии катехина. Было отмечено, что в разбав- Результаты фундаментального изучения воздействия HF на ленной щелочи скорости растворения снижались по мере того,. кварцевое стекло опубликовали авторы работы [238], сопрово-
Комментариев нет:
Отправить комментарий